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Picosun Brochure 2015 now online!
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Mär 23, 2015:
Picosun and NCTU launch industrial ALD facility in Taiwan

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Feb 17, 2015:
Picosun expands its production capacity

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Jan 19, 2015:
Picosun scales up ALD for 10 nm microprocessors

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Archiv

Customer testimonials

"We are impressed with the excellent customer support provided by Picosun, the excellent quality of our PICOSUN™ ALD system, and its simple, clear, intuitive, and secure software. We have installed our PICOSUN™ system at our university and we would recommend it to any academic institute carrying out cutting-edge research in nanotechnology and related areas. This is the smallest PICOSUN™ system. For production purposes one should consider a bigger PICOSUN™ system with options for automated operation."

Prof. Peter Lemmens and Dr. Andrey Bakin, University of Technology in Braunschweig, Germany

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ALD APPLICATIONS

  • Electronics

    Electronics
  • Sensors

    Sensors
  • Semiconductors

    Semiconductors
  • MEMS

    MEMS
  • Microchips

    Microchips
  • Corrosion protection

    Corrosion protection
  • Antitarnishing

    Antitarnishing
  • Energy storage

    Energy storage
  • Decorative coatings

    Decorative coatings
  • Lighting

    Lighting
  • Optics and displays

    Optics and displays
  • Nanotechnology

    Nanotechnology
  • Solar photovoltaics

    Solar photovoltaics

PICOSUN R-SERIE -
ANKURBELN DER FORSCHUNG UND ENTWICKLUNG (F&E)

r-sarja

Die PICOSUN™ Atomlagenabscheidungssysteme (Atomic Layer Deposition; ALD) der R-Serie sind für die Forschung, Produktentwicklung und die Produktion von Vorserien optimiert. Das vielseitige Reaktordesign ermöglicht die Abscheidung auf Wafers von bis 50 bis zu 200 mm (2 - 8 "), dreidimensionale Objekte und poröse Substrate.

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PICOSUN P-SERIE -
DEFINIEREN DER ALD-FERTIGUNG

p-sarja

PICOSUN™ Atomlagenabscheidungsreaktoren (ALD-Reaktoren) der P-Serie setzen einen neuen Standard für ALD Produktionssysteme mit sehr schnellen Prozesszeiten und sehr niedriger “cost of ownership” anhand dem patentierten Design das speziell auf den Anforderungen von ALD basiert.

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EXAMPLES OF ALD MATERIALS*

Oxides
Al2O3, AlxTiyOz, Gd2O3, HfO2, In2O3, MgO, Sb2O3, SiO2, SrTiOx, Ta2O5, TiO2, Y2O3, ZnO, ZnO:Al, ZrO2
Nitrides
AlN, TiAlCN, TiN, TaNx
Carbides
TiC
Sulfides
Gd2O2S, In2S3, InxZnyS, ZnS
Fluorides   
CaF2, MgF2
Metals
Ag, Au, Cu, Ir, Pd, Pt, Ru
   
Self-assembled monolayers (SAMs) for growth inhibition
 
Polymers and inorganic-organic hybrid materials
 

* The list in non-inclusive - for more detailed information please contact Picosun directly.

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