ALD - Your solution,
our passion!

Picosun is an international equipment manufacturer with
a world-wide sales and service organization.

About us ALD Gallery

Automatic cassette-to-cassette loading production system up to 300 mm

Actualit

juin 10, 2013

ESPOO, Finland, 10th June, 2013 – Picosun Oy, leading Atomic Layer Deposition (ALD) equipment manufacturer, reports excellent process results for copper diffusion barrier deposition. ALD materials for copper diffusion barriers were investigated in the project ESiP (Efficient Silicon Multi-Chip System-in-Package Integration – Reliability, Failure Analysis and Test), running from May 2010 to June 2013.
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avril 9, 2013

ESPOO, Finland, 9th April, 2013 – Picosun Oy, leading Atomic Layer Deposition (ALD) equipment manufacturer, reports that its PICOPLATFORM™ 300 ALD cluster tool has been selected by a key customer in Asia for new memory applications. The 300 mm cluster design is based on the company’s long-term top product, the fully automated, multifunctional PICOPLATFORM™ ALD deposition unit for parallel, simultaneous execution of several different processes for high-k and metal/metal nitride films.
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What is ALD?

 

SÉRIE R PICOSUN -
MOTEUR DE R&D

 

SÉRIE P PICOSUN -
DÉFINITION DE LA PRODUCTION ALD

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Etusivun_nosto_02s
 
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Atomic Layer Deposition (ALD) is an advanced thin film coating method which is used to fabricate ultrathin, highly uniform and conformal material layers for several applications.

 

Les systèmes de dépôt de couches atomiques (ALD) série R PICOSUN™ sont optimisés pour la recherche, le développement de produits et la production pilote. Ce type de réacteur polyvalent permet de déposer des couches sur des tranches de 50–200 mm (2–8"), des objets tridimensionnels et des substrats poreux. 

 

Les systèmes de dépôt de couches atomiques (ALD) série P PICOSUN™ établissent une nouvelle référence en matière d’outils de production ALD, avec un procédé extrêmement rapide et un coût de possession très bas grâce au modèle breveté conçu exclusivement en fonction des exigences de la méthode ALD. 

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