ニュース&イベント




Jul 3, 2014: Novel, industrial metallization solutions from Picosun

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Jun 16, 2014: PICOSUN™ P-300B ALD production tool is a success

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May 28, 2014: New industrial ALD processes from Picosun

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What is ALD?

Atomic Layer Deposition (ALD) is an advanced thin film coating method which is used to fabricate ultrathin, highly uniform and conformal material layers for several applications.

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PICOSUN R-SERIES -
POWERING UP R&D

R-series nosto small

PICOSUN™ Rシリーズのアトミックレイヤーデポジション(ALD)成膜装置は、研究開発からパイロット生産向けに設計されたモデルです。様々なアプリケーションに対応可能で、2-8'' (50-200 mm)ウエハー、トレンチや立体的な構造、多孔性材料などへの成膜が可能です。

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PICOSUN P-SERIES -
DEFINING THE ALD PRODUCTION

P-series nosto small

PICOSUN™ Pシリーズのアトミックレイヤーデポジション(ALD)成膜装置は、生産におけるプロセス時間を著しく短縮しコストダウンを可能にする事ができる、特許に基づいた装置設計になっており、量産対応ALD成膜装置の新たなスタンダードとなる生産装置です。

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