Media

Picosun News, Summer 2015 now online!

Click to open pdf.

Июл 2, 2015:
Picosun and Carleton strike gold with ALD

Подробнее

Июн 23, 2015:
Picosun ALD breaks through in medical technology

Подробнее

Май 22, 2015:
Picosun wins market in IC, MEMS, and LED manufacturing

Подробнее

Архив

Отзывы клиентов

The good performance of Picosun’s ALD technology is well-known and trusted. We learned about Picosun through our industrial co-workers in LED manufacturing and the high technological quality and great achievements of the PICOSUN™ ALD systems motivated us to select one ourselves.

Picosun’s ALD equipment have demonstrated remarkable and reliable performance for electronic devices and optoelectronics production which is why we greatly recommend the semiconductor industries (for example Si-based FinFET, CMOS, LED, and display manufacturers) to consider PICOSUN™ ALD systems.

Professor Hao-Chung Kuo, National Chiao Tung University (NCTU), Taiwan

Подробнее 

Применение АСО

  • Защита от окисления

    Защита от окисления
  • Электроника

    Электроника
  • Хранение энергии

    Хранение энергии
  • Декоративные покрытия

    Декоративные покрытия
  • Световые приборы

    Световые приборы
  • Оптика и дисплеи

    Оптика и дисплеи
  • Нанотехнология

    Нанотехнология
  • MEMS

    MEMS
  • Микрочипы

    Микрочипы
  • Датчики

    Датчики
  • Полупроводники

    Полупроводники

PICOSUN™ серии R

r-sarja

Системы PICOSUN™ серии R, основанные на технологии атомно-слоевого осаждения (ACO), специально разработаны для использования в научных и прикладных исследованиях и опытном производстве. Универсальная конструкция реактора позволяет наносить слои на полупроводниковые пластины размером 2-8’’ (50-200 мм), объемные объекты и пористые подложки.

Подробнее

PICOSUN™ серии P

Picosun 300 mm ALD cluster tool with robot loader and FOUP station 1 SMALL

Системы PICOSUN™ серии P на основе технологии атомно-слоевого осаждения (ACO) представляют собой быстродействующие и надежные реакторы компактного размера, предназначенные для использования в производственных целях. Конструкция реактора оптимизирована для эффективной обработки пакетов полупроводниковых пластин размером 4-18’’ (100 - 450 мм). Для достижения наилучших эксплуатационных характеристик оборудование ACO может быть оснащено роботизированным манипулятором.

Подробнее

ПРИМЕРЫ МАТЕРИАЛОВ АСО*

Оксиды
Al2O3, AlxTiyOz, Gd2O3, HfO2, In2O3, MgO, Sb2O3, SiO2, SrTiOx, Ta2O5, TiO2, Y2O3, ZnO, ZnO:Al, ZrO2
Нитриды
AlN, TiAlCN, TiN, TaNx
Карбиды
TiC
Сульфиды
Gd2O2S, In2S3, InxZnyS, ZnS
Фториды
CaF2, MgF2
Металлы
Ag, Au, Cu, Ir, Pd, Pt, Ru
   
Самоорганизующиеся монослои для ингибирования роста
 
Полимеры и гибридные неорганически-органические материалы
 

* Список не является исчерпывающим. За более подробной информацией, пожалуйста, обращайтесь непосредственно в компанию Picosun.

Запрос пробного нанесения покрытия